第884章 浸润式DUV光刻机(第1/2 页)
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对于EUV光刻机的研发，困难很多，主要还是在光源这块。
陈怀庆并不急迫，也没有想着说，EUV光刻机在短时间就能够搞定。
他心理的预�
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